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投资者提问:光刻机中高精密光栅尺用于定位平台,属核心零件之一,对精度有较大...

信息来源:loojoo.com   时间: 2023-04-12  浏览次数:18

投资者提问:

光刻机中高精密光栅尺用于定位平台,属核心零件之一,对精度有较大影响。请问公司有生产光刻机相关的光栅尺吗?谢谢

董秘回答(奥普光电SZ002338):

公司子公司禹衡光学没有生产光刻机相关的光栅尺。感谢关注。

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